釔化鎵有什麼特性和應用?

釔化鎵有什麼特性和應用?

釔化鎵有什麼特性和應用?回答於 : 2024-08-27

參考資料以臨場原子層沉積術成長氧化釔於砷化鎵之結構及介面 ...ndltd.ncl.edu.tw1釔- 維基百科,自由的百科全書zh.wikipedia.org2氧化镓钇_结构式_性质_英文chemsrc.com3查看更多 6 答案完善答案釔化鎵是一種重要的材料,具有以下特性和應用:

1. 特性:

- 釔化鎵氧化物具有高的介電常數、相對高的導帶能差(與砷化鎵之間)、高熱穩定性,且能形成低缺陷密度的介面[1]

- 釔化鎵可以提供優異的電容電壓特性、低介面缺陷密度(低於102cm²ev'),並且可以承受高達900度的高溫快速退火[8].

2. 應用:

- 釔化鎵常用於半導體材料中,特別是與砷化鎵結合形成高能帶偏移、熱穩定性良好、低缺陷密度的介面,這對電子元件的性能提升至關重要[4].

- 釔化鎵也被應用在金氧半電容及自我對準反轉n型通道砷化鎵基金氧半場效電晶體的製造中,以提高元件的性能[7].

總的來說,釔化鎵在半導體領域扮演著重要的角色,其特性使其成為製造高性能電子元件的理想材料。

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